復合式分子泵是一種高性能的真空泵，結合了多種技術的優(yōu)點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應用于高真空、超高真空領域。其結構形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復合式分子泵的操作步驟如下：

　　1、檢查設備：在操作前，確保復合式分子泵及其相關部件（如電源、控制單元、冷卻系統(tǒng)等）處于良好狀態(tài)，無損壞或泄漏。

　　2、連接電源：將分子泵的電源線連接到穩(wěn)定的電源上，并確保接地良好。

　　3、啟動前級泵：復合式分子泵通常需要與前級泵配合使用。首先啟動前級泵，以建立足夠的前級真空度。

　　4、啟動分子泵：在前級泵達到一定真空度后，可以啟動分子泵。按照設備說明書或控制面板上的指示，逐步增加分子泵的轉速至工作轉速。

　　5、監(jiān)控運行參數(shù)：在分子泵運行過程中，密切關注其運行參數(shù)，如轉速、溫度、壓力等，確保它們在正常范圍內。

　　6、停機操作：當需要停止分子泵時，應先降低其轉速至零，然后關閉電源。同時，也要確保前級泵已經(jīng)停止運行。

　　7、維護保養(yǎng)：定期對復合式分子泵進行維護保養(yǎng)，包括清潔、潤滑、更換易損件等，以確保其長期穩(wěn)定運行。

　　總的來說，復合式分子泵的操作步驟相對簡單，但需要注意細節(jié)和安全事項。通過正確的操作和維護，可以確保復合式分子泵的高效運行和延長使用壽命。