渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

　　是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。