ZYFB-600復(fù)合分子泵
ZY系列復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴(kuò)展了復(fù)合分子泵的應(yīng)用范圍。
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng),由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
ZYFB-600復(fù)合分子泵
ZY系列復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴(kuò)展了復(fù)合分子泵的應(yīng)用范圍。復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng),由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域高真空法蘭(mm)150 CF 160 ISO-K前級管道法蘭(mm)40 KF抽氣速(L/S)(對空氣)600壓縮比N2>109H2>8X103極限壓強(Pa)<8×10-8<5×10-7電機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)(rpm)24000振動值≤0.1μm啟動時間(min)<4.5建議采用的前級泵(L/S)4-8冷卻方式水冷(風(fēng)冷)水冷泵冷卻水溫度(℃)≤20風(fēng)冷泵環(huán)境溫度(℃)≤35水冷冷卻水流量(L/min)1泵體烘烤溫度(℃)<120加熱器功率(w)<250加熱器輸入電壓(v)AC220安裝方向垂直±5°泵重量(kg)≈25
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