分子泵生產(chǎn)廠家
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
工作條件
(1)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min,故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級(jí)泵,一般使用旋片泵作為前級(jí)泵。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國(guó) Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵,可以做到*無(wú)油,且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。
分子泵生產(chǎn)廠家
分類
復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級(jí)數(shù)在 l0 級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
盤式牽引級(jí)是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線溝槽,然后將數(shù)塊圓盤串接起來(lái)構(gòu)成,型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”,使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng),從而達(dá)到抽氣目的。
筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開(kāi)在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中,可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。